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东横气体设备(上海)有限公司
地址:上海市浦东新区高行工业园区衡安路668号4号楼1层
联系人:营业部
电话:021-50482681
传真:021-50482971
Email:sh@tge-sh.com

   
产品一览 主要商品一 主要商品二
商品销售一览表 Products
■ 发生装置  Generator
N2 深冷分离式发生装置   Nitrogen Cryogenic Air Separation Unit
N2 PSA式发生装置  Nitrogen PSA Generator
N2 膜分离式发生装置  Nitrogen Membrane Separators
O2 PSA式发生装置    Oxygen PSA Generator
H2发生装置   Hydrogen Generator
F2发生装置   Fluorine Generator
极低温气体发生装置  Extremely Low Temperature Gas Generator
N2/O2/Ar 罐槽装置  N2/O2/Ar Cold Evaporator
■ 供给装置  Supply System
特殊材料气体供给装置   Special Gas Supply System
大流量特殊材料气体供给装置    Bulk Specialty Gas Supply System
低蒸汽压气体供给装置   Low Vapor Pressure Gas Supply System
高纯度气体混合装置   High Purity Gas Mixer
TEOS供给装置   TEOS Supply System
面向Epi的TCS供给装置   TCS Supply System for Epi
面向Epi的HCl供给装置   HCl Supply System for Epi
气体分配箱  Valve Manifold Box/Valve Manifold Panel
装置附带气体分配箱  TOOL Gas Box
■ 纯化装置  Purifier
高纯度气体纯化装置  Bulk Gas Purifier
特殊材料气体纯化器   Special Gas Purifier
PSA用纯化装置  PSA Purifier
液浸型面向ArF的N2,Air纯化装置   ArF Immersion Lithography N2/Air Purifier
■ 排气处理系统  Exhaust Gas Treatment Facility System
半导体工厂用废气处理系统  Exhaust Gas Treatment Facility in Semiconductor
液晶工厂用大流量废气处理系统  Exhaust Gas Treatment Facility in LCD
太阳电池工厂用大流量废气处理系统   Exhaust Gas Treatment Facility in Solar
面向电子工厂的过滤系统   Bug Filter In Electronics
面向电子工厂的湿式电气集尘机   Ion Water Scrubber in Electronics
氮气加湿装置   HOT-N2 Generator
PFC用废气处理装置   PFC Scrubber
PFC回收装置  PFC Collection System
Epi用废气处理装置  EPi Scrubber
VOC用废气处理装置   VOC Scrubbe
■ 气体监视系统  Series Gas Monitoring System Series
综合气体监视系统   Total Gas Monitoring System
特殊材料气体供给监视系统   Gas Supply Monitoring System
特殊材料气体泄漏监视系统   Gas Leak Detector Monitoring System
气体中央监视系统   Gas Center Monitoring System
生产装置附带监视系统   Tool Device Monitoring System
气体检测器   Gas Detector
■ 高纯度气体分析系统   Series Hi Purity Gas Analyzer System Series
电子厂气站分析系统  Electronics Gas Center Analyzer System
微量水分计  Moisture Analyzer
微量氧分浓度计   Oxygen Analyzer
氢气超声波式浓度计  Supersonic Wave Hydrogen Analyzer
颗粒检测机  Particle Counters
He 检测仪  Helium Leak Detector
气体色谱仪  GC:Gas Chromatography
红外线光度计  FT-IR:Fourier Transform Intra-Red
质量分析计   QMS:Quadrupole Mass Spectrometer
大气压离子化质量分析计 API-MS:Atomospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer
■ 气体配管工程及电气配线工程  Piping and Wiring

高纯度气体配管工程  High-Purity Gas Piping Construction

特殊材料气体配管工程  Special Gas Piping Construction
FP/CRP/O3 Passivation配管工程 F2/Chromium Rich/O3 Passivation
设备二次配管工程 TOOL Hook Up Piping Construction
真空排气配管工程 Vacuum construction works in semiconductor devices
废气处理排气配管工程  Exhaust Piping Construction
废气处理管道内管配管工程  Stainless Steel Duct PCTFE Coating Exhaust Systems
筐体排气配管工程  DUCT Piping Construction
排气配管温调工程  Piping Heating System
气体监视系统通信配线工程  Wiring Work of Gas Observation System Communication
气体监视系统 I/L配线工程  Wiring Work of Gas Observation System I/L
气体检测器管道工程  Gas Detector Tube Constriction

■ 漏液检知器  Liquid leak sensor

RS1000系列

RS2000系列
RS2000系列
■ 液位检知器 Liquid Level sensor
TK-010系列
TK-020系列
 
 
 
 
公司名称:东横气体设备(上海)有限公司